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KOSAKAET150基于WindowsXP系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS及平板显示等。
| 型号 | ET150 | |
| 最大样品尺寸 | φ160x48mm | |
| 样品台 | 尺寸 | φ160 |
| 倾斜度 | ±2°（XY手动） | |
| 承重 | 2Kg | |
| 检出器 | 触针力 | 10μN-500μN（1mg-50mg） |
| 范围 | 600μm（0.1nm分辨率） | |
| 驱动 | 直动式（差动变压器） | |
| 触针 | R2μm顶角60° | |
| X轴 | 最大测长 | 100mm |
| 直线度 | 0.02μm/100mm | |
| 速度 | 0.005-20mm/s | |
| 重复性 | ±5μm（定位） | |
| Y轴 | 最大测长 | 25mm/手动 |
| Z轴 | 最大测长 | 50mm |
| 放大倍数 | 垂直 | 50-2000000 |
| 水平 | 1-10000 | |
| 监控系统 | 摄像装置 | 1/3inchCCD |
| 监视装置 | 视频捕捉板 | |
| 移动方法 | 手动 | |
| 辅助功能 | 教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等 | |
| 应用 | 成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度 | |
| 重复性 | 1σ1nm | |
| 电源 | AC90-240V50/60Hz300VA | |
| 外观尺寸 | W500xD440xH630mm120Kg（不含防震台） | |
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