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PE25实验室等离子清洗机

PE-25是专门针对于大学/科研机构研发的小批量样品处理装置，具有移动方便、多种配置功能、高性能及稳定性、操作方便的特点。

美国产Plasma CleaningSystem
PE-25台式实验室等离子表面处理机



PE-25小型等离子表面处理机是专门针对于大学，研究机构和工厂研发机构设计的小批量样品处理装置.作为有针对的设计，突出移动方便，多种配置功能和高性能以及稳定性，操作方便的使用特性。

设备特点:


1.体积小，(宽356mm*高368mm*深457mm)，可放置在任何实验台上。

2.性能可靠，“肚量”宽大。真空腔体采用T6061航空铝合金材料无缝焊接，电极面积达到89mm*170mm，腔体与电极之间的间隙可到53mm，样品放置空间大。

3.配置灵活，可配置不同的频率及功率：50KHz，13.56MHz；控制系统可选择了PLC微电脑控制和更精准的全数字电脑控制，以满足不同用户的要求。

4.操作简便，一般操作人员在极短的时间内就可以熟练操作，甚至只需要几分钟就可掌握。

5. 安全保障：在小型设备中，引入一键急停保护按钮，可以快速终止实验，以最小程度降低因操作失误而造成对样品的损害。






外部尺寸 356mm*368mm*457mm
真空腔材质 6061T6铝合金真空腔
真空腔尺寸 127mm*203mm
电极尺寸 89*178mm，间隙63mm
等离子发生器 功率max.400w（可调）
频率：50KHz（可选配13.56MHz）
供气 气体流量控制器0-25cc/minw/精密针形阀
压力测量 热电偶真空计0-1Torr
控制器 PLC微电脑控制系统。
安全保障 一键急停按钮
电源 220VAC，14A

附件（可选件）

抽气装置：推荐型号：5CFM 2级直驱真空油泵
•氧气发生器
•附加第二气体通道。附加第二气体控制器，0-25cc/min
•50KHz/400w可调节射频发生器，13.56MHz/125W/300W可调节射频发生器自动阻抗匹配网络电源(HF)RFPowerSupply&AutoMatchingNetwork
•接枝设备

高级配置：

•PC/笔记本电脑的控制系统：基于Windows操作系统，装有等Plasma Etch操作软件的笔记本电脑，包括全自动系统操作，流程排序，多配方存储，以及其他高级功能。
•质量流量控制器：附加质量流量控制器也可提供。
•气流减压装置。




样品处理实例（碳化钨基底上的DLC涂层去除）




 
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